水道水・・・初期洗浄に。 脱イオン水・・・イオン交換樹脂でイオンを除いたもの。洗浄のすすぎに。 脱イオン蒸留水*1・・・イオン交換水を蒸留したもの。比抵抗値*21〜3mΩ/cm。 通常の実験には十分な精度。 純水・・・比抵抗値が高い水。〜10mΩ/cm。18mΩ/cm…